真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。
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真空设备检漏
如何判断真空系统是否存在漏气，通常采用静态升压法，即把容器抽到一定压强后，关闭阀门将被抽容器与泵隔开，若容器漏气或材料放气，容器中的压强将随时间而上升。与氦气相比，使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强，可得出压强/时间曲线。由于容器的漏气与出气情况不同，其曲线也不同
1.直线A
压强不随时间变化，说明系统即不漏气，也不放气。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直线B
压强期初上升很快，而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡，这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低，故曲线渐趋向于平衡。
3.直线C
是一斜率为ΔP/Δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。
4.曲线D
开始压强上升较快，而后渐渐减慢，后变成斜率为ΔP/Δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线D可以认为是B和C的叠加。如果出现曲线C和D的情况，则判定系统有漏气。
氢气检测仪在氢气泄漏检测中的应用
燃料应用氢气可以用作燃料,具有资源丰富、热值高、洁净等特点。
不过，氢气虽然用途广泛，但在使用过程中也有很多缺点。氢气要安全储藏和运输并不容易，它重量轻、难捉摸、扩散速度快，需低温液化，会导致阀门堵塞并形成不必要的压力。
氢气气体检测仪对氢气检测反应迅速且，以保证有危害发生时可以及时报警，是当今工业领域检测气体灵敏并可报警的检测仪，其设计可以适应这些恶劣的工作环境。主要包括以下三种常用的氢气气体检测仪：
便携式氢气检测仪。便携式氢气泄漏检测仪可连续检测作业环境中氢气浓度。以上是由北京科仪创新真空技术有限公司发表内容，如有需要，欢迎拨打图片上的热线电话。氢气泄漏检测仪为自然扩散方式检测气体浓度，采用进口电化学传感器，具有的灵敏度和出色的重复性；氢气检测仪采用嵌入式微控制技术，菜单操作简单、功能齐全、可靠性高、整机性能居国内水平。
以上信息由专业从事电力铸件氦检漏系统的科仪创新真空于2025/5/8 15:24:16发布
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