质量流量计是一种用于测量流体质量的仪表，相较于传统的体积流量计具有更高的精度和稳定性。它能够直接测得通过管道的质量流量、密度以及温度等参数值，不受介质压力变化及流动状态的影响。
其工作原理通常基于科氏力原理或热导式原理：利用振动管在振动过程中产生与质量成正比的相位差来测定流过管道的质量；或通过测定传感器加热元件因被测介贡流速不同而带走的热量多少来计算流量的方法来确定物质的瞬时质量和累计重量(总量)。该设备可广泛应用于各种工业环境和使用场景中对气体或者液体的准确计量和控制过程之中去帮助实现自动化控制和提高生产效率的目的。
质量流量计概述
在气体流量的测量应用中，质量流量计是一种常见的测量仪器。质量流量计(MFM，Mass FIow Meter)，是一种准确测量气体流量的仪表。质量流量控制器(MFC:Mass Flow Controller)集成 MFM 及控制阀门，不但具有质量流量计的功能，还能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器作为稳流装置，可以手动设定或与计算机连接进行的气体稳流自动控制。
质量流量计产品特点
产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
以上信息由专业从事空气流量计公司的科仪创新真空于2025/5/6 12:39:50发布
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