氦质谱检漏仪的主要配置
科仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。今天科仪的小编就和大家分享一下氦质谱检漏仪的主要配置有哪些，希望对您有所帮助！氦质谱检漏法有优点在于：氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全。
1. 检漏仪分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱模块
以上是科仪为您一起分享的内容，科仪生产氦检漏，欢迎新老客户莅临。
氦气检漏仪的工作原理是什么？
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；以上是由北京科仪创新真空技术有限公司发表内容，如有需要，欢迎拨打图片上的热线电话。打在收集器上，收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。
科仪拥有先进的技术，我们都以质量为本，信誉高，我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对氦检漏感兴趣，欢迎点击左右两侧的在线客服，或拨打咨询电话。
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的质量为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为2.186K，三相点压力为51.1×10-2Pa，在标准状态下的热导率为510.79J/(m·h·K)，在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB/T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
规定的瓶装氦气按纯度高低分别为工业用氦、纯氦、高纯氦三种。
1、工业用氦：氦含量≥99%，露1点≤43℃.
2、纯氦分三级：优等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。
3、高纯氦分为三级：优等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。
氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用氦，即氦含量≥99%，露1点≤43℃。
如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科仪竭诚为您服务！
氦质谱检漏法
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
以上信息由专业从事真空检漏系统的科仪创新真空于2025/3/28 13:27:21发布
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