流量控制器优点
热式质量流量器可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量;浸入式热式质量流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s),插入式热式质量流量计更适合于大管径。
热式质量流量计无活动部件,无分流管的热分布式仪表无阻流件,压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表,虽在测量管道中置有阻流件,但压力损失也不大。
热式质量流量计使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比,不需温度传感器,压力传感器和计算单元等,仅有流量传感器,组成简单,出现故障概率小。
热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体,不必用这些气体专门标定,直接就用空气标定的仪表,实验证明差别仅2%左右;用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算,但偏差可能稍大些。
气体的比热容会随着压力温度而变,但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
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流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表,因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器如何测混合气体的流量?
质量流量计是采用感热式测量百,通过分体分子带走热量多少从而来测量流量,因为是用感度热式测量,所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。
即气体流过加热元件时将热量带走,带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率,电路中输出功率的大小与流体的质量有关,由此测量流专量。
此方法,日系发动机常用。
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流量控制器
怎样进行不同气体的质量流量换算?
产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。
如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。25psi或更低)加上微热(50~60°C)可使得液体从设备内部的微小气道内蒸发。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。
以上信息由专业从事质量式流量计报价的厚礼博于2025/2/21 11:26:07发布
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