什么是流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。在探头设计中,尽可能采用导热系数小的材料制造构架并采用绝热、绝缘硅胶对探头密封以减少导热量。
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质量流量控制器在正常工作时,流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力,它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的,简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础,在传感器内部有两根平行的T型振管,中部装有驱动线圈,两端装有拾振线圈,变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时,振动管作往复周期振动,工业过程的流体介质流经传感器的振动管,就会在振管上产生科氏力效应,使两根振管扭转振动,安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号,这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时,振管的主振频率不同,据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。质量流量控制器原理质量流量控制器是利用热传导原理测量流体流量的仪表,质量流量控制器采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。
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流量控制器
怎样选择流量显示单位?
我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式,即是将 MFM / MFC 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示,例如,规格为50SCCM的MFM/MFC,当显示值为80%时,实际的流量为40SCCM。对任何一种规格的MFM/MFC,满量程值都显示为。这种方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直观,有的用户不习惯。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。
按 SCCM或 SLM显示,出厂时对流量显示的范围与相应的MFM/MFC的量程进行匹配,使用时显示值即是流量值,很直观,符合习惯,为多数用户所采用。 匹配好后,原则上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是显示值需要修正。
以上信息由专业从事浮子流量计公司的厚礼博于2025/1/17 9:05:29发布
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