热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量，用户一般使用的气源气体浓度为999，有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时，是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗？低浓度的气体流经和通过流量计的时候，是否需要注意哪些问题呢？以及对气体的浓度有什么影响吗？
流量控制器
紧凑而坚固的仪器设计，为连续质量流量测量确保了重复性，用途非常广泛，可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响，即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质，稳定性好，接触各种气体时很少会发生反应，故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时，用户在订货时需特殊说明一下，本公司会根据实际使用，来选择相对应的密封材质，从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体，在通过流量计的时候，也是不会有吸附或干扰性的。
气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用
真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。
热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
质量流量控制器
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。
流量控制器
质量流量控制器，即 Mass Flow Controller(缩写为MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一种用于通过测量流体的质量流量来控制流量的设备。当气体流经加热表面时，气体分子产生热传递，与加热表面产生接触的气体分子越多，热传递现象越明显。通过对加热表面热量变化的测量，即可以反应出某种气体的质量流量变化。这种测量方法不受气压与环境温度的影响，因为它所测量的本质是气体分子的数量。
热式气体质量流量传感器是气体质量流量控制器中一个重要的主要部件,对气体质量流量控制器的性能指标,如零漂,准确度,线性,重复度,响应时间等重要指标参数有直接影响.要使气体质量流量控制器的性能指标得到明显改善,首先就要提升热式气体质量流量传感器的性能.然而,热式气体质量流量传感器的性能与其本身的结构参数设计是密切相关的。
以上信息由专业从事流量计算器公司的厚礼博于2025/1/14 7:57:00发布
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