流量控制器基本原理
通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。质量流量控制器即使在恶劣的工作环境下也能表现出优异的性能提高流量测量系统的可靠性用于安全联锁报警的流量仪表如果不可靠，应该联锁动作时不动作，容易酿成事故，不该动作时乱动作，容易导致不应有的停车，造成损失。
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流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。除正常安装要求外，要特别注意减少振动影响，因为质量流量控制器是基于振动原理工作的，外加振动会引入干扰。
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流量控制器特点
1、 稳定的流量供给，不受温度、压力变化
2、 宽量程比，可达100：1
3、 高达0.1%的重复性和1.0级的精度等级
4、 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
5、 内置70余种气体，触屏式直接操作切换，无需重新校准
6、 标配三种显示方式：数字、模拟和本地面板
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流量控制器
怎样选择流量显示单位？
我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式，即是将 MFM / MFC 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示，例如，规格为50SCCM的MFM/MFC，当显示值为80%时，实际的流量为40SCCM。对任何一种规格的MFM/MFC，满量程值都显示为。这种方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直观，有的用户不习惯。该残留物由于颗粒过重而干扰到气体作层流运动并影响测量精度的几率很小，但如果那样的话，须使用清洁设备。
按 SCCM或 SLM显示，出厂时对流量显示的范围与相应的MFM/MFC的量程进行匹配，使用时显示值即是流量值，很直观，符合习惯，为多数用户所采用。 匹配好后，原则上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是显示值需要修正。
以上信息由专业从事流量表报价的厚礼博于2025/1/6 18:00:27发布
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