很多朋友对热式气体质量流量控制器和质量流量计的单位还有不理解的地方，今天咱们就来好好理解一下流量控制器和流量计在生活中所常用的单位。质量流量计和流量控制器的工作原理
一般地，质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm（毫升/分钟）和slm（升/分钟）表示；s代表stand，指标准状况下；cc指毫升；l指升；m代表minute，指分钟；其实这就意味着，流量控制器在不同的使用条件下，指示的流量全都是标准状态下的流量。松盛测控将标准状态规定为：气压—101325Pa (760mm Hg)； 温度—20℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。怎么样区分热式气体质量流量控制器与质量流量计
而对一些朋友而言：体积流量的表示方法很符合习惯，也便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min、g/h、kg/min、kg/h等）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。也有一些朋友习惯用流速来表示，流速可以经过简单的计算得到转换成流量，流量和流速的换算关系由以下公式进行计算：Q=V·S，其中V代表气体在管道中的流速，S为钢管的截面积，Q代表气体在特定的时间内流过的流量。其中Q的单位是m/s，V的单位是m/s，S的单位㎡。
气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用
真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。
热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
质量流量控制器
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。
质量流量控制器用在哪些地方？
气体质量流量计和控制器能用来测量单一气体的结构，紧凑的气体质量流量计和控制器能用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组。主要的技术优点：基于热式毛细管技术，模块化的设计；极其紧凑的尺寸；高精度，线性和重复性稳定；快速响应时间；多种气体/多量程范围可选。
氦气，是一种稀有气体，化学式为He，因现在氦气在各行业中的广泛使用，因此控制气体的流量与大小，在节能减排、控制成本方面有重大意义。热式气体质量流量控制器为一款高精度的气体控制设备，能很好的控制气体的进气质量，气体流量的大小也不受温度和压力的变化影响，是一款稳定的气体质量流量控制仪器。
氦气为无色无味的惰性气体，化学性质不活泼，一般状态下很难和其他物质发生反应。一般用在以下行业中：
1、氦气可作为燃料的压送剂和增压剂。
2、氦用作冶炼及焊接时的保护气体，这在钢铁冶炼等行业的制造方面非常重要。
3、氦气有优良的渗透性， 用于一些管道及电子和电气装置等的检漏和气密性测试中。
4、氦气是具有理想气体性质的气体，是极低温度下蒸气压温度计的理想用气。
5、氦气的质量密度、重量密度都低，可用来填充灯泡、霓虹灯管，也是理想的气球及飞艇用气。
6、氦气惰性气体的一种，可将氦气与氧气混合，作为呼吸用气体。
流量控制器在自动配气仪中的应用
高精度气体稀释装置是一种用于物理学、化学、环境科学技术及资源科学技术领域的计量仪器，其工作原理是能对气瓶中的高浓度气体进行大比例稀释混合。根据气体方程式，仪器可自动计算配比浓度。有些型号可选配自校准和自诊断功能。混合气体的精度、稳定性取决于使用的高精度气体质量流量控制器。
质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。从而得到设定的气体浓度。
以上信息由专业从事流量控制仪公司的厚礼博于2024/7/1 7:14:00发布
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