选择气体质量流量控制器和订货时应当注意什么？
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。质量流量控制器（MFC）除耐压之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。
(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。
除了气体种类，流量范围外准确度和接头形式也很重要，常见的接头形式有卡套接头和VCR接头，接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10；英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。
气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
气体质量流量控制器使用注意？
1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下，也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时，应在定货时声明，使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。
气体质量流量控制器工作原理
气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道，其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构，可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经由放大后输出，就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC的功能。
以上信息由专业从事热式质量流量计厂家的晓韬科技于2024/3/28 7:54:14发布
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