气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。
什么是气体质量流量控制器？
气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用，更主要的是，它能控制气体流量，即客户可按照需求设定流量，MFC会自动地将流量稳定在设定值上，即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变，也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。
气体质量流量控制器对于气体的要求
1，气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。
2，输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。
3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，还容易产生危险。
以上信息由专业从事热式质量流量控制器公司的晓韬科技于2024/4/28 8:55:05发布
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