真空箱式氦检漏系统【工作环境】
科创真空——真空箱氦检漏供应商，我们为您带来以下信息。
真空箱式氦检漏系统【工作环境】
工作环境:
1、长×宽×高（设备占地面积约）：依据实物实际面积为准。
2、电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约22KW；
3、压缩气源及减压器：0.6～0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气；
4、待检工件要求清洁、干燥。
5、环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
6、相对湿度： ≤80%；
7、氦气源及减压器：氦气纯度为 99％。
8、设备应安装在通风良好的厂房内。
氦质谱检漏仪的基本原理与结构
氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。中科科美生产的氦检系统，针对冷凝器检漏节拍在40秒/件，针对蒸发器检漏可达20秒每件。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
氦质谱检漏仪
充氦法
充氦法也称负压法 ，一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐，将被检零件装入一个气室，开始关闭氦气罐阀门，机械泵把气室先抽成真空，然后关闭真空泵阀门，打开氦气罐阀门给气室充氦，并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙，氦气就慢慢充入小器件内部。八、工件小车托盘（见设备图纸作为验收依据）期望大家在选购氦检漏设备时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。然后将气室打开，取出被检器件，用压缩空气吹掉其外表面可能吸附的氦。再把这些器件逐个(或成组) 地装入接在检漏仪进气法兰处的容器中，把此容器抽空后打开节流阀，这时原先进入被检器件的氦又会经过漏孔放出来，检漏仪就会给出漏率响应。
以上信息由专业从事油箱氦检漏仪生产厂家的科创真空于2024/7/4 10:39:17发布
转载请注明来源：http://beijing.mf1288.com/bjkcdx-2780487425.html
