真空设备检漏
检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧，用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质，从而达到检测的目的。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。
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真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。现代的检漏方法如果被测工件不适合与水接触，或者检测环境中存在温度的影响，或者被测工件是弹性体而导致无法使用水泡法和压降法检测时，采用氢气检漏法是一种性价比较高的选择。
这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。
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如何正确使用氦气检漏设备？
在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。
如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。
氢气管道
在氢气管道方面，氢气管采用无缝钢管制成;管道和管件采用焊接连接，以减少可能的泄漏点。管道与设备的喷嘴、阀门等采用法兰或螺纹连接，并在连接中使用金属丝并定期检查粘接电阻，设备或管道端部是否接地良好;所述管道上设有空管、取样口和吹扫口，其位置满足管道中气体吹扫和更换的要求，系统上设有含氧量小于0.5%的氮气置换吹扫设施;氢气排气管应导至室外，排气口应高于屋顶高处1m以上。在排气口设置阻火器，防止外部火花进入系统造成事故，并采取防护措施，防止雨雪侵入、碎片堵塞、雷击。氢氮混和气检漏法已在国内外广泛应用于制冷、空调、汽车零部件、发动机、变速箱、减速机、阀门、药品包装、飞机油箱油路及其他密封件或管路检漏。
以上信息由专业从事环保柜氦检漏系统的科仪创新真空于2024/12/31 11:51:10发布
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