真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。检漏时将检漏器的灵敏度调到da,一边移动探头,一边侦听,使能听到的超声波发出的声音达到da。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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真空设备检漏与维修
随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视,氦质谱检漏方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。氦质谱检漏方法(以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种,由于后者需将设备完全抽成真空状态,往往会增加试验用设备(如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装(如外压加强圈)而使造价提高,所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言,通常优先选用种方法。超声波转换器由于只检测超声波部分,在普通工厂的噪音条件下,不受明显干扰,因此检漏效果很好。
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氢气检漏法
钠焰法
钠焰法的测试尘源为多分散相氯化钠盐雾,“量”为含盐雾燃烧时氢气火焰的亮度。
盐水在压缩空气的搅动下飞溅,经干燥形成微小盐晶体颗粒并进入风道,在过滤器前后分别采样。
含盐雾气样使氢气火焰的颜色变蓝、亮度增加,以火焰的亮度来判断空气的盐雾浓度,并以此确定过滤器对盐雾的过滤效率。
主要检测仪器为火焰光度计,该方法只能海绵检测灵敏度不高,不能对超过滤器检测。
以上信息由专业从事高压柜氦检漏设备的科仪创新真空于2024/12/15 15:54:45发布
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