质量流量计是一种用于测量流体质量的仪表，相较于传统的体积流量计具有更高的精度和稳定性。它能够直接测得通过管道的质量流量、密度以及温度等参数值，不受介质压力变化及流动状态的影响。
其工作原理通常基于科氏力原理或热导式原理：利用振动管在振动过程中产生与质量成正比的相位差来测定流过管道的质量；或通过测定传感器加热元件因被测介贡流速不同而带走的热量多少来计算流量的方法来确定物质的瞬时质量和累计重量(总量)。该设备可广泛应用于各种工业环境和使用场景中对气体或者液体的准确计量和控制过程之中去帮助实现自动化控制和提高生产效率的目的。
质量流量计产品特点
产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
质量流量计
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿),将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器，放大后的值和通过显示屏设置的流量值进行比较，用比较值控制调节阀开度，本设备从比较到控制的时间非常短，满足了及时性和准确性的要求。本设计对产品的安装角度和位置不敏感，无需反复校准调零，
本设备可以通过触摸屏设置气体总量，在设定流量下通过时间参数自动计算气体总量，当气体总量达到设定值时，调节阀立即关闭。
本设备可以通过触摸屏设置气体种类，气体的种类必须和所测气体一致，每一种气体的各项性能不尽相同，选对气体种类是进行流量和总量控制的前提。
以上信息由专业从事层流式质量控制器原理的科仪创新真空于2024/5/8 12:03:19发布
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