氦质谱检漏仪
北京科仪真空技术有限公司是国内新兴的一家从事真空领域的高新技术企业。
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。氦气检漏仪氦气检漏仪是氦质谱检漏仪((HeliumMassSpectrometerLeakDetector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
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氦气检漏的主要技术性能
1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;
2.一般为三箱联动系统，生产节拍可满足单台6PPM—12PPM；
3.开门方式，可根据用户生产工艺要求来设计，一般为平开门式、滑台合箱式；
4.上下料采用机械手或机器人，正常生产时设备无需人工操作；
5.系统配置二维码扫描装置，可将每个电芯的检测数据对应存储；
6.具有清氦功能
7.具有氦气回收功能（此功能可选）
8.自动判断，并对应放置（即不合格品放于不合格线，合格品放于合格线）
9.可通过触摸屏设置不同等级密码，更改设备参数；
10.人机交互界面，触摸屏实时反映运行状态和测试数据；
11.故障统计功能
12.系统采用配置和标准化设计制作，确保运行稳定，性能可靠。
今天和大家分享的是氦气检漏的性能指标，想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询！
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。
以上信息由专业从事充气柜真空箱检漏系统的科仪创新真空于2024/5/6 10:09:17发布
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