热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量，用户一般使用的气源气体浓度为999，有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时，是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗？低浓度的气体流经和通过流量计的时候，是否需要注意哪些问题呢？以及对气体的浓度有什么影响吗？
流量控制器
紧凑而坚固的仪器设计，为连续质量流量测量确保了重复性，用途非常广泛，可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响，即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质，稳定性好，接触各种气体时很少会发生反应，故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时，用户在订货时需特殊说明一下，本公司会根据实际使用，来选择相对应的密封材质，从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体，在通过流量计的时候，也是不会有吸附或干扰性的。
气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用
真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。
热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
质量流量控制器
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。
数字型和模拟型的流量控制器的控制方法
热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。
它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
热式气体质量流量控制器和质量流量计，根据它的信号传输模式可以分为：模拟型和数字型两种。国产的产品中，模拟型分为电压（0-5V或0-10V，每个厂家与厂家之间可能会有稍微的差异）和电流（4-20mA或0-20mA）；数字型的主要还是市场上传统的RS485 modbus协议或RS232 （国外的产品还可选perfnet或是总线方式）。用户主要是通过采集数据信号，来进行的气体流量的检测，以及设定数据信号值，来达到调节和开启截止阀门的开度，从而控制气体的流量。
流量控制器在自动配气仪中的应用
高精度气体稀释装置是一种用于物理学、化学、环境科学技术及资源科学技术领域的计量仪器，其工作原理是能对气瓶中的高浓度气体进行大比例稀释混合。根据气体方程式，仪器可自动计算配比浓度。有些型号可选配自校准和自诊断功能。混合气体的精度、稳定性取决于使用的高精度气体质量流量控制器。
质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。从而得到设定的气体浓度。
以上信息由专业从事气体质量流量计报价的厚礼博于2025/5/3 9:40:02发布
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