我们通常称的质量流量控制器，它的全称是热式气体质量流量控制器，英文：Mass Flow Controller(简称MFC)；而质量流量计的全称是热式气体质量流量计，英文名：Mass Flow Meter(简称MFM）。它们是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不会因为温度或者压力的变化而产生失准的现象。
松盛测控本体带数显流量控制器/流量计
质量流量计，是一种计量和监测的仪表；而质量流量控制器，不但具有质量流量计的功能，更重要的是：它能够自动地控制气体的流量，也就是说，用户可根据情况的需要，来进行流量的设定，流量控制器则自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离当初的设定值。简单来说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算计连接的自动控制气体的稳流装置。
所以总的来说，一般情况下，仅对气体流量进行计量或监测的话，用质量流量计就能够满足要求；而如果是需要对气体流量进行控制的话，则需要用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用
真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。
热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
质量流量控制器
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。
流量控制器在自动配气仪中的应用
高精度气体稀释装置是一种用于物理学、化学、环境科学技术及资源科学技术领域的计量仪器，其工作原理是能对气瓶中的高浓度气体进行大比例稀释混合。根据气体方程式，仪器可自动计算配比浓度。有些型号可选配自校准和自诊断功能。混合气体的精度、稳定性取决于使用的高精度气体质量流量控制器。
质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。从而得到设定的气体浓度。
以上信息由专业从事流量表厂家的厚礼博于2025/5/3 4:13:34发布
转载请注明来源：http://beijing.mf1288.com/bjzhkj-2859462731.html
