流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。流量控制器特点1、稳定的流量供给,不受温度、压力变化2、宽量程比,可达100:13、高达0。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
流量控制器
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。通常流体密度变化小,可以认为流速与流体质量流量正比,因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
流量控制器
使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?
部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。高压改变了振动管的内应力,提高了弹性管的等效刚度,从而使振动管的振动频率增大,两管的相位差减小。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。
以上信息由专业从事热式质量流量计公司的厚礼博于2024/5/24 7:03:22发布
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