气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用
真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。
热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
质量流量控制器
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。
气体质量流量控制器怎么来控制液氮的流量呢？液氮是指液态的氮气。液氮是惰性，无色，无臭，无腐蚀性，不可燃，温度极低的液体，汽化时大量吸热接触造成。在工业中，液态氮是由空气分馏而得，将空气净化后，在加压、冷却的环境下液化，借由空气中各组分之沸点不同加以分离。
气体质量流量计和流量控制器是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
流量控制器使用注意事项介绍
在使用热式气体质量流量控制器是应注意，额定电源电压为24VDC，功率与量程无关。电压或功率不足可能影响设备工作，如果电源针脚接错可能导致电路板烧坏，无法通讯，请勿在气源关闭的情况下打开控制器设定值，否则阀门会持续发热，影响寿命。本公司的气体质量流量控制器在上游或下游安装时，都没有直管段的要求，可以任意位置安装或倒置安装。
以上信息由专业从事热式质量流量计公司的厚礼博于2024/5/10 7:57:08发布
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