流量控制器基本原理
通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装，因为这样便于做到调零的零偏置。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。
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流量控制器的主要优点是什么？
(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
(2) 测量控制的自动化
质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。四、设备的精度位也会高，并且还需要精心的维护，在振动以及使用条件进行经常检查等，确保精度以及仪表的安全。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3) 地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4) 适用范围宽
有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~ (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
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使用流量控制器害怕什么?
怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是重要的。
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流量控制器容易受这几个方面的影响
质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿，可根据需要进行流量设定，自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制。一、压力状况在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不低于20MPa，压力远远大于大气压。直接测量气体的质量流量，输出质量流量信号，不用其他设备。可以的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。
一、压力状况
在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不低于20MPa，压力远远大于大气压。高压改变了振动管的内应力，提高了弹性管的等效刚度，从而使振动管的振动频率增大，两管的相位差减小；气体流经振动管时，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。通常流体密度变化小，可以认为流速与流体质量流量正比，因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
二、温度影响
用于加气机的CMF工作温度远低于室温，温度影响必须考虑；介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。
三、流速问题
压缩气体密度低，流速快，其影响不能忽略。理想情况下，流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小，可以认为流速与流体质量流量正比，因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
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以上信息由专业从事流量表报价的厚礼博于2024/5/8 6:44:14发布
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