很多朋友对热式气体质量流量控制器和质量流量计的单位还有不理解的地方，今天咱们就来好好理解一下流量控制器和流量计在生活中所常用的单位。质量流量计和流量控制器的工作原理
一般地，质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm（毫升/分钟）和slm（升/分钟）表示；s代表stand，指标准状况下；cc指毫升；l指升；m代表minute，指分钟；其实这就意味着，流量控制器在不同的使用条件下，指示的流量全都是标准状态下的流量。松盛测控将标准状态规定为：气压—101325Pa (760mm Hg)； 温度—20℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。怎么样区分热式气体质量流量控制器与质量流量计
而对一些朋友而言：体积流量的表示方法很符合习惯，也便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min、g/h、kg/min、kg/h等）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。也有一些朋友习惯用流速来表示，流速可以经过简单的计算得到转换成流量，流量和流速的换算关系由以下公式进行计算：Q=V·S，其中V代表气体在管道中的流速，S为钢管的截面积，Q代表气体在特定的时间内流过的流量。其中Q的单位是m/s，V的单位是m/s，S的单位㎡。
质量流量控制器用在哪些地方？
气体质量流量计和控制器能用来测量单一气体的结构，紧凑的气体质量流量计和控制器能用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组。主要的技术优点：基于热式毛细管技术，模块化的设计；极其紧凑的尺寸；高精度，线性和重复性稳定；快速响应时间；多种气体/多量程范围可选。
氦气，是一种稀有气体，化学式为He，因现在氦气在各行业中的广泛使用，因此控制气体的流量与大小，在节能减排、控制成本方面有重大意义。热式气体质量流量控制器为一款高精度的气体控制设备，能很好的控制气体的进气质量，气体流量的大小也不受温度和压力的变化影响，是一款稳定的气体质量流量控制仪器。
氦气为无色无味的惰性气体，化学性质不活泼，一般状态下很难和其他物质发生反应。一般用在以下行业中：
1、氦气可作为燃料的压送剂和增压剂。
2、氦用作冶炼及焊接时的保护气体，这在钢铁冶炼等行业的制造方面非常重要。
3、氦气有优良的渗透性， 用于一些管道及电子和电气装置等的检漏和气密性测试中。
4、氦气是具有理想气体性质的气体，是极低温度下蒸气压温度计的理想用气。
5、氦气的质量密度、重量密度都低，可用来填充灯泡、霓虹灯管，也是理想的气球及飞艇用气。
6、氦气惰性气体的一种，可将氦气与氧气混合，作为呼吸用气体。
流量控制器的应用中IST流量传感器的作用
IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。
IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。
以上信息由专业从事小流量气体流量计厂家的厚礼博于2024/4/29 5:39:33发布
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