什么是气体质量流量控制器?
气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,MFC会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。
如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过?
可以使用惰性气体接到MFC进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明MFC是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进MFC内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。
气体质量流量控制器显示方式有哪些
1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式,测量的精度高,多款外形尺寸可选,双四位的LED显示,支持电流、电压的输入方式,可带多个控制点、多窗口显示,适用于流量等过程量的监测,是一款非常高的产品。
2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示,除了具有精度等级高,线性精度好以外,操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。
3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式,适合多气路以及产品的集成,一键启动,人机界面,具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固耐用、节省空间等优点,是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。
气体质量流量控制器对于气体的要求
1,气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。
2,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。
3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,还容易产生危险。
以上信息由专业从事气体流量控制器价格的晓韬科技于2024/5/6 10:05:54发布
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