真空泵滑阀式真空泵
广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。滑阀真空泵可单独使用,也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时,需附加装置。优点:相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大,价格相对高一点。用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用,也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理,真空干燥等工艺过程中。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵如何调节供水量
随着真空泵的使用率愈来愈广泛,在设备使用全过程中挑选合适的操作方式,才可以达到更强的使用效果,为了更好的应用,下面咱们一起了解下真空泵调节供水量的操作方法有哪些吧。
当水环真空泵启动操作的整个过程中,可以说是不断供水,使其压力平衡,并且有着充足的水。由于真空泵的供水量有一定的范围,为了获得标准供水量,节约用水可按下程序调节供水阀。当水环真空泵正常运转后,适当打开供水阀,然后观察入口真空表压力。慢慢关小供水阀得开度,当真空表指针开始波动或下降时,这时的供水量已经不够,重新慢慢打开供水阀门,当真空表指针重新稳定时,这时的供水量为标准供水。
以上信息由专业从事水环真空泵报价的凯德金科技于2024/5/25 10:53:22发布
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