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真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵漏气主要原因

水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多，有可能是输进液环的温度本来就高，也有可能是供给水或供给液水母不足，以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高，还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升，以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。

真空泵的安装过程

真空泵的安装过程需要确保设备能够安全、稳定地运行，并满足生产需求。以下是关于真空泵安装步骤的详细说明：

1.选择安装场所：真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。

2.基础准备：泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保泵运转平稳，振动小。

3.连接管道：泵与系统的连接管道应密封可靠，对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。在连接管路中，用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查泵的极限压力。

4.电源连接：按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

5.冷却水连接：对于有冷却水的泵，应按规定接通冷却水，确保泵在运行过程中能够得到有效的冷却。

6.装配泵体：拆箱后，除去一切包装，检查仪器在运输过程中是否损坏。将旋片装好弹簧后装入转子槽中，试试活动是否良好。装高转子时，先装高真空端的大转子，将带旋片的高转子把紧，将低轴端插入中隔板的轴孔中放正。泵腔中事先应加适量的真空泵油作润滑，并认真注意真空卫生。

7.试运转：泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认泵转向符合规定方向方可投入使用，以防泵反转喷油。

总的来说，真空泵的安装过程需要细致、严谨，确保每个步骤都符合规定要求，以保证设备的正常运行和使用寿命。在安装过程中，应注意安全，避免发生意外事故。