水环真空泵报价来电洽谈「多图」

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真空泵罗茨真空泵

罗茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵开机前应做好哪些准备？

1.清理杂物。

首先要清除真空泵中的尘土，其次是管子中的尘土杂物，尤其是焊接残渣，保证清洁，防止进入泵中造成堵塞卡死。

2.检查真空泵各个部件是否齐全。

检查吸气口和排气口是否正确上紧，所有管路是否安装无误，同时检查冷却水管是否正常。

3.保证齿轮箱润滑油在标准油位。

在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处，螺杆真空泵的齿轮箱中油过少容易导致齿轮、轴承润滑不足、咬死；过多则容易引起润滑油温度过度升高，导致齿轮噪音或对其他部件的影响。因此，需要注意将油位长期保持在合理范围内。

4.注意冷却水量是否按要求配置。

螺杆真空泵通过水冷夹套对泵体进行冷却，各个型号的冷却水量也有所不同，实际开机前要根据对应型号要求以及环境情况，保证冷却水量是否满足配置需要。

5.检查确认真空机组各个阀门的状态。

工艺入口阀关闭、入口过滤器排污阀关闭、出口管线畅通，出口管排污阀打开、冷却水入口管线和出口管线阀门打开、氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭。