真空泵正确组合
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空泵安装
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。
⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。
⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
导致真空机组压力低的主要原因
伴随着城市规划建设的迅速发展，如今真空机组早在各种项目上普遍应用，优点多多获得了大家认同，对于产品性能要求比较高为了更好的运用，下面咱们一起了解下关于导致真空机组压力低的主要原因有哪些吧。
一旦真空泵机组的压力过低，不仅会导致机组无法正常启动，还会对机组产生一些不良影响。因此，当发现机组压力过低时，必须及时查明压力低的原因，如果真空泵机组没有注水或适当排气，可以检查泵壳和入口管道是否充满液体，吸力过高，检查现有净压头。系统水头过高，检查系统水头，速度过低，检查电机接线是否正确，电压是否正常，透平蒸汽压力是否正常。
以上信息由专业从事隔膜真空泵供应商的凯德金科技于2024/4/29 7:01:10发布
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