真空检漏技术
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。检测节拍:多箱联动20S~60S/箱真空箱内腔尺寸:根据被检工件外形及尺寸定制。
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几种检漏方法和检漏仪的比较发布
1.水检法
这是zui简单的、原始的检漏方法,自行车胎就是采用此种方法。它是将被检工作充上大于大气压的空气。1.0-3.0Mpa)放人水中是否有气泡从工件中冒出来,冒泡的位置就是泄露的位置,而根据冒泡的速率,泡的速率,泡的大小,大约可估漏率。
2.卤素法
先前一般的制冷器都采用卤化物为冷媒,当灌注冷媒封口以后,用卤素检漏仪的探头在司疑之外寻找漏点,发现漏点就会声光报警,漏点和漏率也就相对确定了。
3.压力哀减法(压差法)
就是将被检工作,利用压缩机或压缩空气(一般1-3Mpa)连接进一个压力表,待充上气后,密封(确保封头不漏),观察压力表24小时内压力降情况,如有漏则压力降低,但不能判断什么地方漏,漏多少。
当然还有许多其它方法,这些方法灵敏度一般达不到或只能勉强达到标准,或者说,只能检大漏,有的不能检出漏在哪里,漏多少等弊端。铸件氦检漏仪生产厂家
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半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,用这种技术检漏,简便易操作,仪器反映灵敏,精度高,不易受其它气体的干扰,以上列举的方法是检漏技术领域里经常用道的方法,包括了从小件检漏到大件检漏,从确定漏孔检漏到确定漏率检漏,比较的列举了各种检漏方法,相信在工程实际应用中有很好的参考价值。3.压力哀减法(压差法)就是将被检工作,利用压缩机或压缩空气(一般1-3Mpa)连接进一个压力表,待充上气后,密封(确保封头不漏),观察压力表24小时内压力降情况,如有漏则压力降低,但不能判断什么地方漏,漏多少。
以上信息由专业从事铸件氦检漏仪生产厂家的科创真空于2024/7/26 10:15:20发布
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