影响真空绝缘水平的主要因素
真空度
显现了空隙击穿电压和气体压强之间的关系。由图可以看到真空度高于10-2Pa时，击穿电压基本上不再跟着气体压力的下降而增大，因为气体分子碰撞游离现象已不复兴效果。当气体压力从10-2Pa逐步升高时(真空度下降)，击穿强度逐步下降，以后又随气压的而。从曲线上可以看出真空度高于10-2Pa时其耐压强度基本上坚持不变。这就标明，真空灭弧室的真空度在10-2Pa以上时完全可以满足正常的运用需求。真空的应用范围极广,主要分为低真空、中真空、高真空和超高真空应用。
超声波抛光
超声波抛光将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光。超声波加工宏观力小，不会引起工件变形，但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的基础上，再施加超声波振动搅拌溶液，使工件表面溶解产物脱离，表面附近的腐蚀或电解质均匀；据国际半导体设备与材料协会报告显示,中国目前正在天津、西安、北京、上海等16个地区打造25个FAB建设项目,福建晋华集成电路、长江存储科技公司等企业技术水平虽不及韩国,但均已投入芯片量产。超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程，利于表面光亮化。
真空泵
核聚变装置的10-4Pa量级高真空运行环境的获得主要由低温泵、涡轮分子泵等可获得超高真空的泵实现。根据不同功能特点，有3类低温泵安装在ITER装置上。Cryostat低温泵抽气系统集成了两台超临界氦气冷却低温吸附泵。200台分子泵需要满足不同子系统的应用要求。较低的真空获得由螺杆泵、罗茨泵和涡旋泵实现。为满足ITER装置的环境条件，包括Edwards和Pfeiffer公司在内的真空泵制造商已经对真空泵的性能进行了适应性调整。为使Edwards公司生产的涡轮分子泵的磁场容限适用范围更为宽泛，磁场容限增强型nEXT400分子泵采用了16mm壁厚的马氏体不锈钢整体泵腔结构，导热基板的空气冷却结构，超高真空陶瓷引电和金属密封装置，以及耐辐射密封元件优化等多项新技术，实现了160mT磁场条件下可靠运行。因此采用PID来进行温度控制调节,控温热偶设置在腔体内部,这样可以更好地控制真空腔体内的温度。
以上信息由专业从事超高真空腔体加工厂家的科创真空于2024/7/2 8:18:31发布
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