氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。
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铝制板翅式换热器常用检漏方法
肥皂泡法
在对板翅式换热器进行完强度试验前，一般对各介质通道充入压力值为0.1MPa-0.2Mpa 的干燥、洁净、无油的气体，在换热器表面的焊缝处刷一定浓度的肥皂水，如果存在泄漏点，会连续形成肥皂泡或者肥皂泡被吹飞。找出外漏点，并对所有介质通道卸压后，进行补焊返修。由于探头寿命直接和使用条件和频次相关，因此较难预计准确的更换时间。
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氦质谱检漏的成本控制
氦质谱检漏相对于其他的检漏方法，因使用抽真空机组及高纯氦气其经济成本居高不下。笔者在生产制造检测中摸索出一整套减少检测费用的方法，使氦质谱检漏具备了在板翅式换热器生产中大规模使用的可能。
检漏口真空度的控制
根据NB/T 47006 铝制板翅式热交换器中A.5 氦质谱检漏和JB/T 7261 铝制板翅式热换器中漏率要求，检漏口真空度一般要求为：1.33Pa。
在设计图样及供货合同中对检漏口真空度有明确要求的，按照其要求的检漏口真空度进行检测;如果没有要求，根据大量的检测经验，将检漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa，这样的一个检漏口真空度并没有降低检测的准确性，但其抽真空所需的电费能减少20%-50%。m3/s），然后对氦罩冲氦，同时观察漏率显示，一大增大，就说明工件不合格。
检漏仪的故障和处理
1设备的分子泵不启动
分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。
2设备的质谱室不能正常工作
质谱室主要是灯丝无法正常加电，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。
3前级机械泵工作不正常
主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在+10至+40之间使用。氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入。
以上信息由专业从事便携式氦质谱检漏仪生产厂家的科创真空于2024/5/10 11:49:17发布
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