氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。例如：如果试件中残留大气压空气，充注添加一个大气压的检漏气体后，试件中的检漏气体浓度便降为50%，而如果充注添加两个大气压的检漏气体，检漏气体浓度则为66%。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。 氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。
氦泄漏检测应用
生产零件的质量控制使用氦检漏仪的组件有助于确保生产过程的完整性。典型的例子包括:密封包装、阀门、歧管、密封件、真空容器和系统、、高纯度管道、制动管路、燃油管路、液压管路、制冷组件、散热器、热交换器、冷凝器、储罐。
系统维护
使用真空系统或压力系统的工业过程工具必须进行测试，以检查偶尔的泄漏。任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况，某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系，但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及仪器中，良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要。这可能是预防性维护的一部分，也可能是意外故障的一部分。真空系统的典型例子包括:真空炉、真空涂布机、电子显微镜、手套箱、线性、电子束和离子束加工设备、半导体加工设备、激光加工设备。加压系统的典型例子包括:发电厂、气体处理系统、生物反应器、液化气设施、地下储罐、地下电缆和管道。
氦检漏服务
检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系，背景浓度越高，波动越大。如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域，背景浓度将在整个工作日持续增加。此外，在加注或排放过程中，确保没有气体溢出，并定期检查连接件是否有泄漏。
如果检漏气体泄漏氦和氢，它将像气球一样飞到检漏区的室顶，并逐渐漂浮在整个检漏区。因此，应该为泄漏测试区域提供足够的通风。由于两种泄漏检测气体都倾向于向上移动，因此建议从底部输入新鲜空气，从顶部向外排放气体。
以上信息由专业从事冷凝器真空镀膜机检漏品牌的科创真空于2024/4/29 12:04:34发布
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