真空除气炉的构成介绍
真空测量装置：采用复合真空计，使测量更加准确。
加热烘烤组件：采用铠装管加热，包括工件托盘及支架，箱室顶部中心测温。功率：9.5千瓦，控制精度：±1℃。
管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。
真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。
前级泵：选用涡旋干式真空泵，无油运行，可为真空箱室提供洁净的真空环境。
分子泵：选用脂润滑复合分子泵，可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。
管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。
真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现
一种真空除气存储柜，包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等，柜体内设置有一个或多个储物室，储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端，柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖，储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板，托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连，真空除气炉。
真空除气炉、真空存储柜的使用环境
使用环境
① 设备占地面积约：长2米，宽1.6米（约3.2平米）高1.95米；
② 电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约15KW（外部电源用户自备）；
③ 工件要求：无油污，无腐蚀性物质；
④ 环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
⑤ 相对湿度： 20%-85%；
⑥ 设备应安装在通风良好的厂房内。
真空除气储存柜
本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。
加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。
以上信息由专业从事硅片除气装置公司的科创真空于2024/4/29 9:14:40发布
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