真空泵的结构
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。
真空泵选型
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
真空泵防返油装置原理
为了能在停泵时防止真空泵油返到被抽容器,内置停泵防返油装置就十分重要。
真空泵防返油阀原理:可靠的进气口防返油装置,双重保护,不返油,保证了真空系统安全。
保护一:停泵时隔离阀关闭真空系统;
保护二:停泵时关闭油路并向泵腔充气。
真空泵运行期间,控制活塞在油压作用下顶着弹簧保持密封。防倒吸阀的阀盘由于自重保持在较低位置(阀门开启)。泵停机后,油压下降,弹簧将控制活塞向上顶。这样就在油箱与防倒吸阀的活塞之间形成了一个通路。以上为真空泵防返油阀原理的介绍,对比用弹簧来控制防返阀的真空泵,防返油效果更好,故障率较低,维修更加简单。
以上信息由专业从事里其乐真空泵代理的华诚浩达于2021/4/11 9:59:54发布
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