常见的真空镀膜材料
氧化物一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5,五氧化二铌Nb2O5,五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3,氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。
其它化合物硫化锌ZnS,硒化锌ZnSe,氮化钛TiN,碳化硅SiC,钛酸镧LaTiO3,钛酸钡BaTiO3,钛酸锶SrTiO3,钛酸镨PrTiO3,硫1化镉CdS等真空镀膜材料。
金属镀膜材料高纯铝Al,高纯铜Cu,高纯钛Ti,高纯硅Si,高纯金Au,高纯银Ag,高纯铟In,高纯镁Mg,高纯锌Zn,高纯铂Pt,高纯锗Ge,高纯镍Ni,高纯金Au,金锗合金AuGe,金镍合金AuNi,镍铬合金NiCr,钛铝合金TiAl,锌铝合金ZnAl,铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。冷凝泵的工作原理:主要是低温表面对气体的冷凝作用、冷捕作用及物理低温吸附作用。
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真空镀膜系统
离子蒸发及溅射源
多弧镀的蒸发源一般为圆饼形,俗称圆饼靶,也有长方形的多弧靶。发现机械泵的油少了就要添加,不要认为这油是定期更换的,等到了时间再维护,到时候可能泵的转子就会磨损严重了。靶座中装有磁铁,通过前后移动磁铁,改变磁场强度,可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度,要给靶座不断通入冷却水。为了保证靶与靶座之间的高导电、导热性,还可以在靶与靶座之间加锡垫片。磁控溅射镀膜一般采用长方形或圆柱形溅射阴极。
真空镀膜系统
真空镀膜在日常生活中非常常见,就是一个真空系统也比较复杂,现在,我们一起去探索一下真空镀膜的设备秘密吧。
真空镀膜设备不是单一的设备,而是设备组,它是由真空系统、蒸发系统,蒸发辅助系统,加热系统,整机的电气与自动化控制系统共同构成,今天,我们主要讨论的是真空镀膜设备中的真空系统。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。真空泵油雾过滤器也被运用在真空系统当中,使得真空镀膜工艺排放无污染,节能环保。
以上信息由专业从事真空镀膜生产厂家的艾明坷于2024/5/23 9:36:26发布
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